催化燃燒廢氣處理工藝流程包括以下步驟：

　　廢氣的收集和預(yù)處理：將產(chǎn)生的廢氣從工業(yè)設(shè)備中收集起來，經(jīng)過除塵、脫硫、脫氮等工藝進(jìn)行預(yù)處理，確保廢氣的穩(wěn)定性和安全性。

　　催化燃燒反應(yīng)室：將預(yù)處理后的廢氣送入催化燃燒反應(yīng)室，室內(nèi)通過加熱，控制催化燃燒溫度，催化劑加速反應(yīng)使廢氣中的有機(jī)物、CO、NOx等物質(zhì)被氧化分解。

　　煙氣凈化：通過吸附、過濾等方式來凈化產(chǎn)生的煙氣，使得廢氣排放達(dá)標(biāo)。

　　熱能回收：通過換熱器等設(shè)備回收催化燃燒產(chǎn)生的熱能，用于加熱其他廢氣或加熱系統(tǒng)。

　　廢氣監(jiān)測：對處理完的廢氣進(jìn)行監(jiān)測，確保處理效果符合國家相關(guān)法規(guī)要求。

　　以上是催化燃燒廢氣處理工藝流程的基本步驟，具體應(yīng)用時(shí)需要結(jié)合實(shí)際情況來設(shè)計(jì)和優(yōu)化。